2017.03
MOCVD薄膜生成反应腔研究设计
工期：100
描述：研究分析喷淋式氮化镓薄膜反应器的反应腔的反应流场的的分析。通过fluent研究设计反应腔中的反应的流场分布和温度场分布。
工期：100
描述：研究分析喷淋式氮化镓薄膜反应器的反应腔的反应流场的的分析。通过fluent研究设计反应腔中的反应的流场分布和温度场分布。
